日本ULVAC CFB-600K抗冲击分子泵 一、产品简介
CFB-K系列抗冲击分子泵转子采用国家新型加工而成，提高了叶齿强度，分子泵高速旋转时可以抵抗瞬时5000Pa的大气冲击和粉尘，广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
日本ULVAC CFB-600K抗冲击分子泵 二、产品特点
具有高压强、抽速大的特点，对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-600K抗冲击分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-600K | ||
订货号 | 3179 | 3180 | |
进气口法兰 | — | LF160 | CF150 |
排气口法兰 | — | KF40 | |
抽气速率 | L/s | 600 | |
压缩比N2/H2 | — | 1×109/3×103 | |
极限压强 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
电机转速 | rpm | 24000 | |
启动时间 | min | ＜5 | |
轴承 | — | 陶瓷轴承 | |
前极泵 | L/s | 4-8 | |
振动值 | μm | ≤0.1 | |
冷却水温度 | ℃ | ≤25 | |
泵体烘烤温度 | ℃ | <120 | |
冷却水流量 | L/min | 1 | |
泵口耐压 | Pa | 7000 | |
加热器输入电压 | V | AC220 | |
安装方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～26 | |
四、特性曲线及安装尺寸
CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
CFB系列抗冲击分子泵安装尺寸表
型号规格 | CFB-600K | |
进气口法兰 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □145.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 395.5 | 395.5 |
H2 | 108 | 108 |
H3 | 135.5 | 135.5 |
H4 | 104 | 104 |
