日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵
简要描述:◇洁净真空 由于无油、不会返流至泵内,因此可以得到洁净的真空。 ◇低噪音、低振动 涡线管优良的平衡性,降低了噪音和振动。
产品型号: DVS-321/631/DVT-300
所属分类:真空泵
更新时间:2024-08-20
详细说明:
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵特性 ◇洁净真空 由于无油、不会返流至泵内,因此可以得到洁净的真空。 ◇低噪音、低振动 涡线管优良的平衡性,降低了噪音和振动。 ◇无需日常换油 由于不使用泵油,大幅减少了日常保养。 ◇无需冷却水 由于是空冷构造,安装时真空泵只需接通电源就能工作,无需水冷管。 ◇高效压缩的涡线管节省了能源和运转成本。 ◇保养周期长 为避免机械损耗,选用耐用材料,密封件确保能够连续运转。 日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵应用 ◇可用于半导体制造的负载锁定室 ◇电子显微镜的前级泵 ◇干式真空的前级泵 ◇真空干燥、冷冻干燥系统 ◇排气、真空注入系统 ◇真空蒸溜、真空凝缩 ◇测量器械 ◇真空加固 ◇真空涂层系统 ◇电子杠杆工程、激光杠杆机 型 号 | 实际排气速度(L/min.) | 极限压力 (Pa) | 吸/排气管径 (mm) | 重量 (kg) | 外形尺寸 W×L×H(mm) | 电机 | 极限蒸气压 (g/hr) | 功率(W) | 可选电压(V) | ※ DVS-321 | 265/320 (50/60Hz) | ≤1.5(当选购件孔径D1.0≤3.0) | KF-25/KF-16 | 35 | 300×398×354 | 400 | 单相 100~115.200~230 | ≤2.0(当选购件孔径D1.0≤2.3) | DVS-631 | 525/630 (50/60Hz) | ≤1.0(当选购件孔径D1.5≤2.5) | KF-40/KF-25 | 41 | 326×535×367 | 600 | 单相100/200.220 | ≤2.0(当选购件孔径D1.0≤2.3) | 44 | 326×586×367 | 三相200 | DVT-300 | 300 | ≤6.7 | KF-25/KF-16 | 26 | 257×273×509 | 400 | 单相100.200 三相200 | ------- |
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