日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性
• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、应用
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
三、规格参数
| 单位 | 50Hz | 60Hz |
实际抽速 | L/min | 90 | 108 |
极限压力 | Pa | 5.0 | |
马达 |
| 单相, 100/115/200/230V, | |
满载电流 | A | 2.6/1.3/1.6 | 2.1/2.2/1.1/1.1 |
重量 | kg | 14.0 | |
进出气管道直径 |
| 进气管 KF-25 出气管 KF-16 | |
环境温度 | °C | 5 – 40 | |
水蒸气处理 | g/天 | ≤5 (A.F. 开启) | |
尺寸 | mm | 214(W) × 308(L) × 225(H) | |
四、外形图
五、泵数曲线
六、对应电压与认证
电压 | 现行电压 | CE 认证 | CSA 认证 |
单相, | 标准 |
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