日本ULVAC DA-81S膜片干式真空泵 • 膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。 • 泵体结构采用无油环境设计，因此维护简单。 • 根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

日本ULVAC DTC-41膜片干式真空泵 • 所有接触气体的部件全部采用PTFE 与FPM 材料。 • 适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。 • 高真空至1000Pa。

日本ULVAC DISL-502渦旋干式真空泵 单绕式涡旋泵含轨道螺旋和固定螺旋各1 个。比DIS 系列对灰尘与水蒸气的处理能力强，适合工业用。

耐腐蚀性强，保养简便，适合旋转蒸发器配套使用或实验室作真空源

泵体部件采用聚苯硫醚和聚四氟乙烯高耐腐塑料一次成型，使用寿命长。 流量大，负(正)压力高，可满足各类过滤器的要求。 有正压、负压独立接口，可用于不同场合。